氧化锌薄膜制备方法,步骤为:第一步,制备前驱体溶液:称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中,在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合,然后去塞,加入乙二醇,持续加热并搅拌,待溶液冷却后,加入乙醇并于保温。第二步,薄膜的基本制备工艺为:在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液,待乙醇基本挥发完毕后摊胶,然后预烧初步去除有机物,过程重复以达到目标厚度,最后退火。本发明采用改进的水基PECHINI方法制备出了高质量的ZNO薄膜。除了采用去离子水作为溶剂外,乙醇被用来改善前驱体溶液的性质以提高薄膜的质量。
制备p型氧化锌薄膜的方法：是利用磁控溅射法，在磁控溅射过程中，以金属锌为磁控溅射的靶，在工作气体氩气中另外通入氮气或氮气和氧气作为反应气，使磁控溅射真空室压强为10#+[-1]Pa～10#+[0]Pa，氮气流量与氩气流量的比在一定范围内，氧气流量与氩气流量的比在合适范围内，进行磁控溅射镀膜，获得氮氧锌薄膜，再将氮氧锌薄膜在大气或氧气氛中进行热处理，热处理温度在300℃～500℃范围内，处理时间为0.5～5小时，制得p型氧化锌薄膜。本发明方法原理简单，载流子浓度控制方便，可操作性好。
利用氧化锌缓冲层生长单晶氧化锌薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)取一衬底;(2)在该衬底上的硅(001)晶面上采用磁控溅射的方法低温生长氧化锌缓冲层;(3)在氧化锌缓冲层上,采用MOCVD方法低温生长氧化锌外延薄膜。
氧化锌铁电薄膜的制备方法,包括以下步骤:A.清洗锌片,除去锌片表层的氧化物并使之平整;B.以0.3～0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液,阳极氧化锌片;C.取出锌片,用去离子水冲洗干净,在锌片表面获得氧化锌薄膜,该薄膜为多孔状结构,厚度可达10微米,呈现铁电性质。本发明的方法实现了氧化锌在溶液法生长过程中的锂掺杂,获得了具有铁电性质的氧化锌薄膜,简单易行,所需原料廉价,所用设备简单,制备参数容易控制,实现了氧化锌由一般的压电材料向铁电材料的转化。
绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法涉及用于太阳电池的光电材料技术领域,特别涉及到用于太阳电池的透明导电薄膜设计技术领域。其特征在于,这种薄膜是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。制备该薄膜的方法是磁控溅射方法,其特征在于,溅射气体的压力为3.0Pa～15.0Pa;衬底温度为20℃～400℃。本发明的氧化锌透明导电薄膜具有较高的绒度和表面粗糙度,能够增加光的吸收。
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