氟硅润滑油的合成方法：系由含氟烷基甲基二氯硅烷和二烃基二氯硅烷混合物以金属氧化物脱氯合成得到的多元含氟混合环硅氧烷中间体为原料，直接以强酸引发开环聚合得到的含氟聚硅氧烷具有如上的结构式：其中R#+[1]＝C#-[1～4]的烷基、苯基；R#+[2]＝甲基、苯基；p＝0、1、2；q＝3～20的整数；X＝2，3；Y＝0～11的整数；R’为乙烯基、羟基或三甲基硅基。本发明所得的含氟聚硅氧烷的数均分子量为1500～8000；氟含量为10％～60％。是一种高性能的氟硅润滑油。
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