多层纳米透明导电膜:属于纳米薄膜材料领域。本发明薄膜是电介质与金属层交替结构,两层电介质中间是金属层,其中电介质层是对称结构,或者非对称结构。本发明方法首先根据多层膜的特征矩阵计算公式、金属连续膜内的电子输运和等离子体共振理论,编制多层膜光电性能的计算机模拟程序,优化设计D/M/D多层膜结构,这包括材质、膜厚、折射率、电导率的选择和匹配等,预测若干种D/M/D多层膜结构;然后用真空蒸镀的方法制备D/M/D多层膜,同时在蒸镀时,用精确的膜厚监测系统来动态记录膜厚,随时取样测量并加以校正。本发明多层膜的光电性能较好,电气性能指标相对ITO/Ag/ITO有了很大的提高,同时,该膜系具有更好选择滤光性能和色彩平衡性。
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