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金属氧化铟锡复合透明导电薄膜

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高温金属舟镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法:该高温金属蒸发舟采用经高温退火处理后的钽片制作的,为长方舟,其尺寸和结构的比例关系为:蒸发舟的总长度,包括两翅片为(88±3)mm,舟槽的长、深、宽分别为45±2mm,10±3mm,24±3mm,利用该蒸发舟镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法,包括真空镀膜的一般步骤,其特征在于其蒸发电流为150-200A,充氧量12±2Sccm,真空度控制在0.9-1×10-2Pa,基底的烘烤温度为280±20℃,蒸镀时间根据阻值的需要来控制。 

 

金属氧化铟锡复合透明导电薄膜制备方法:是一种溅射制备氧化铟锡/金属/氧化铟锡多层薄膜结构透明电极的工艺。现有溅射工艺要加热,不适合有机衬底,而且基体温度过高,不利于产品性能的提高。室温条件下溅射制备氧化铟锡/金属/氧化铟锡复合透明导电薄膜电极,该工艺的优点是:基片不需要加热,电极导电性好,有较好的透光性,有优良的表面平整度,薄膜电气性能稳定。该工艺适用于各种有机薄膜发光器件和其他高温耐受性较差的薄膜发光器件的透明电极制备。

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