在刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法：该方法包括保持FeCl#-[3]刻蚀液的温度为60－70℃；保持FeCl#-[3]刻蚀液的比重；以50－120千克/小时的速度往刻蚀液中通入氯气，在刻蚀液中加入盐酸溶液，使HCl的含量占刻蚀液总重量的0.200－0.600％；保持Ni#+[2+]的含量占刻蚀液总重量的0－3.00％。由该方法可以在保证平板荫罩刻蚀质量的前提下提高铁镍合金平板荫罩的刻蚀速度，提高对三氯化铁刻蚀液中Ni#+[2+]含量分析的准确性。
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