用于图案细微化的涂膜形成剂和使用该形成剂形成细微图案的方法

在具有光刻胶图案的基板上涂敷该涂膜形成剂，利用其热收缩作用缩小光刻胶图案的间隔后，实质上完全除去该涂膜，形成细微图案，其特征在于含有水溶性聚合物和水溶性含氟化合物。本发明还提供一种使用该涂膜形成剂形成细微图案的方法。利用本发明，可以降低发泡、减少缺陷、流平性和涂布性优良，可以得到外形良好、具有现有半导体器件所要求特性的细微图案。

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