金属表面保护液:其特征在于:由下列原料按配比制成:磷酸、钼酸钾、酒石酸、硫脲、AEO-9、双氧水、净水。其制备方法为:将磷酸加入水中搅拌均匀后,再加入酒石酸和硫脲,最后加入钼酸钾、AEO-9和双氧水搅拌均匀,静置24小时后,即可。优点是:1.适用范围广。可以在零度以下使用,以满足南北地方广大地区冬季使用。2.在通常温度下使用不需加热,节省能源。3.成膜速度快,膜密度均匀,附着力强,不易反锈。
用于半导体制程中金属防腐蚀的保护液。其包括一种或多种能够与金属材料发生作用在金属表面形成保护膜的有机酸类化学添加剂。本发明的保护液能够在晶片处理工艺的间隙或运输过程中提供有效的保护,大大降低金属材料的表面点蚀,减低表面腐蚀程度,甚至是在停机状态时都能提供有效的保护。从而降低缺陷,提高产品良率,增加收益率。
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