研磨盘(1),在弹性板(2)的一面侧固定研磨布(3)的背面侧,在上述弹性板(2)的另外一面侧设置用来固定于转动研磨装置的转动轴的固定装置(5),其特征在于:在上述研磨布(3)的与研磨对象物接触的一侧的表面上设置呈格子状的纵槽(7a)及横槽(7b)。
柔性研磨盘:该研磨盘包括衬垫(2),所述衬垫具有上侧(3)和下侧(4)。所述上侧具有用于形成表面层的研磨剂涂层(6)。为了形成尽可能图案特定的表面层,每个研磨盘的衬垫被单独涂敷。在该制造方法中,衬垫的上侧上的研磨剂涂层被压纹模(10)压纹,所述压纹模(10)结构特定并且用于压在衬垫上。
多孔研磨盘及其制造方法,本研磨盘包括层叠的防潮纸(dampproof paper),含浸第一热固性树脂的一个以上碳纤维纱罗织物(leno)层,以及含浸第二热固性树脂后分散涂覆磨料的一个以上化纤纱罗织物层,由于有纱罗织物层结构,具有多孔性,尺寸稳定性、旋转破坏强度及耐冲击强度优秀,安全、环保,有益于研磨作业。
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