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1. 从氧化硅膜选择蚀刻氮化硅膜的方法
2. 多晶硅膜表面处理溶液和采用该溶液的多晶硅膜表面处理方法
3. 用化学蒸气沉积技术沉积氮化硅膜和氧氮化硅膜的方法
4. 硅薄膜的形成方法及硅薄膜太阳能电池
5. 由热化学气相沉积制造氮化硅薄膜和氮氧化硅薄膜的方法
6. 硅膜形成用组合物和硅膜的形成方法
7. 用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜和使用该多晶硅薄膜的器件
8. 用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件
9. 氮化硅膜制作方法及氮化硅膜制作装置
10. 低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管
11. 氮化硅膜、半导体器件、显示器件及制造氮化硅膜的方法
12. 硅薄膜退火方法和由该方法制造的多晶硅薄膜
13. 多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备
14. 多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件
15. 多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法
16. 制备多晶硅膜层的激光退火装置及形成多晶硅膜层的方法
17. 形成多晶硅薄膜的方法，包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管及其制造方法
18. 通过化学汽相淀积使氮化硅膜和/或氧氮化硅膜淀积的方法
19. 改性多孔质二氧化硅膜的制法、由该制法所得改性多孔质二氧化硅膜及含该膜的半导体装置
20. 使用搀杂物和具有受控晶体结构的多层硅薄膜来调整多晶硅薄膜和周围层的应力
21. 一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法
22. 在硅膜中心部位设置四端单元件的力敏器件
23. 硅薄膜区熔再结晶的防气化复盖层
24. 矩形双岛硅膜结构过压保护型压力传感器
25. 改进的溶液生长硅薄膜的方法
26. 一种集成硅膜热流量传感器及其制造方法
27. 一种硅膜电容压力传感器及其制造方法
28. 一种硅膜压阻压力传感器的制造方法及其传感器
29. 生产具有含有有机着色剂的二氧化硅膜的积层材料的方法
30. 低温光化学气相淀积二氧化硅、氮化硅薄膜技术
31. 一种纳米硅薄膜的制备方法
32. 采用晶态硅薄膜阻光层的液晶光阀及其制造方法
33. 硅膜改性弹性玻璃毛细管柱的制备
34. 具有多晶硅薄膜的半导体器件
35. 复原非晶硅薄膜晶体管器件阈值电压漂移的装置
36. 热壁密装低温低压淀积二氧化硅薄膜技术
37. 多晶硅膜微压传感器
38. 新生儿脐带硅胶膜片药袋
39. 结晶硅膜、半导体器件及其制造方法
40. 绝缘体上硅薄膜晶体管
41. 复合式绝缘体上硅薄膜基片及其制作方法
42. 生长氮氧硅薄膜的方法
43. 具有改进的绝缘图形的绝缘体上硅薄膜衬底
44. 用于海水淡化的超滤二氧化硅薄膜的制备方法
45. 用于生产多纳孔二氧化硅薄膜的醇基处理器
46. 在硅化物膜上进行化学汽相淀积的方法和设备
47. 二氧化硅薄膜的生产设备及其所用的生产方法
48. 氧化硅膜的制造方法、半导体装置及其制造方法、以及显示装置
49. 碳化硅薄膜的基座设计
50. 制备薄硅膜的方法
51. 制备有金属硅化物膜的半导体器件的方法
52. 具有高熔点金属硅化物膜的半导体装置制造方法
53. 形成微晶硅膜的方法、光电元件及其制造方法
54. 由含表面活性剂的溶液制备的中孔二氧化硅膜及其制备方法
55. 玻璃的二氧化硅膜织构化
56. 硅烷基多纳米孔隙二氧化硅薄膜
57. 非晶硅薄膜太阳能电池制作装置
58. 具有金属硅化物薄膜的半导体器件及制造方法
59. 成膜设备和形成结晶硅薄膜的方法
60. 多晶态硅膜的制造方法和制造装置
61. 高抗激光损伤阈值疏水增透二氧化硅膜的制备方法
62. 硅膜的形成方法和喷墨用油墨组合物
63. 改进的氟掺杂二氧化硅薄膜
64. 用顺序横向固化制造均匀大晶粒和晶粒边界位置受控的多晶硅薄膜半导体的方法
65. 低温下用顺序横向固化制造单晶或多晶硅薄膜的系统和方法
66. 用烷基硅氧烷低聚物和臭氧化学气相沉积氧化硅薄膜
67. 顺序横向固化方法加工期间及其后硅薄膜的表面平面化
68. 多官能硅基低聚物/聚合物纳米孔二氧化硅薄膜的表面改性中的应用
69. 硅膜成形方法
70. 纳米硅薄膜及其制备工艺
71. 边缘限定硅膜生长工艺的晶体生长设备与方法
72. 低介电氮化硅膜的形成方法和半导体器件及其制造工艺
73. 用于生成四氮化三硅薄膜的超薄氧氮化物的UV预处理方法
74. 用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜
75. 中频反应磁控溅射制备二氧化硅膜设备
76. 结晶硅薄膜半导体器件,光电器件及前者的制造方法
77. 化学机械法抛光二氧化硅薄膜用抛光膏
78. 具硅视网膜架构的光学鼠标芯片
79. 一种纳米硅薄膜的制备工艺和产品
80. 通过使用三(二甲基氨基)硅烷的原子层沉积形成含硅薄膜的方法
81. 低温下用磁控溅射技术制备无应力氧氮硅薄膜
82. 液晶显示器的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
83. 基于二氯甲硅烷的化学汽相淀积多晶硅化物膜中异常生长的控制
84. 多晶硅薄膜的制造方法
85. 在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
86. 非晶硅薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法
87. 氧化硅膜制作方法
88. 形成多晶硅层的方法以及制造多晶硅薄膜晶体管的方法
89. 纳米硅膜生物传感器及其制备方法和应用
90. 具有硅化物膜的半导体装置以及半导体装置的制造方法
91. 利用微晶硅膜作为浮置闸以促进快闪式存储器性能的方法
92. 硅烷组合物、硅膜的形成方法和太阳能电池的制造方法
93. 单晶碳化硅薄膜的制造方法及制造设备
94. 熔融二氧化硅薄膜
95. 提高硼硅玻璃膜及氮化硅膜之间粘合强度的方法
96. 制作多晶硅薄膜的方法
97. 平面单元存储元件的硅化物膜制造方法
98. 多晶硅薄膜结晶品质的检测装置及其检测与控制方法
99. 多晶硅薄膜的晶粒尺寸的控制及其检测方法
100. 利用准分子激光退火工艺制作多晶硅薄膜的方法
101. 半导体元件的硅化物膜的形成方法
102. 轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
103. 除去氮化硅膜的方法
104. 在铝酸盐系长余辉荧光粉表面包覆二氧化硅薄膜的方法
105. 多晶硅膜的制造方法及评价装置
106. 制造具有碳化硅膜的半导体器件的方法
107. 氧化硅薄膜的沉积
108. 用于评估多晶硅薄膜的装置
109. 普通玻璃基材上的平铺硅薄膜及其制造方法
110. 陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
111. 一种多孔氧化硅膜的制备方法
112. 有机电激发光的非晶硅薄膜电晶体的制造方法
113. 形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法
114. 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
115. 多晶硅薄膜的制造方法
116. 形成多晶硅层以及制作多晶硅薄膜晶体管的方法
117. 多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法
118. 形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法
119. 低温多晶硅薄膜晶体管的结构
120. 高级硅烷组合物及使用该组合物的硅膜形成方法
121. 低温多晶硅薄膜的制造方法
122. 多晶硅薄膜的制造方法
123. 具有集成非晶硅薄膜晶体管驱动列的液晶显示装置
124. 解决湿法剥离氮化硅薄膜新的清洗溶液
125. 多晶硅薄膜晶体管离子注入机
126. 具有硅视网膜结构的影像感测电路
127. 多晶硅薄膜的制造方法
128. 形成高质量的低温氮化硅膜的方法和设备
129. 硅薄膜晶体管及其制造方法以及显示屏
130. 浮法线锡槽内玻璃镀硅膜的设备
131. 低温多晶硅薄膜的制造方法
132. 一种在陶瓷衬底上沉积大晶粒多晶硅薄膜的方法
133. 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺
134. 硅薄膜结晶方法、用该方法的薄膜晶体管及其平板显示器
135. 低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
136. 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
137. 利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
138. 利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法
139. 一种纳米硅薄膜的制备工艺
140. 蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
141. 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
142. 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
143. 低温多晶硅薄膜晶体管及其多晶硅层的制造方法
144. 氧化硅薄膜的制造方法
145. 低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
146. 一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
147. 多晶硅薄膜晶体管离子感测装置与制作方法
148. 制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法
149. 以连续式侧向固化法形成多晶硅膜的方法及其光罩图案
150. 生产氢化碳氧化硅膜的方法
151. 硅烷聚合物及硅膜的形成方法
152. 生产结构体的方法和氧化硅膜用蚀刻剂
153. 在具有图形的绝缘硅基衬底上制作硅薄膜的方法
154. 包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法
155. 多晶硅膜的形成方法
156. 多晶硅膜的形成方法
157. 平坦多晶硅薄膜晶体管的制作方法
158. 制作低温多晶硅薄膜的方法
159. 具有硅化物薄膜的半导体器件及其制造方法
160. 蚀刻氮化硅薄膜的设备及方法
161. 低温多晶硅薄膜晶体管及其沟道层的制造方法
162. 包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法
163. 半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
164. 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法
165. 非晶质硅膜的结晶方法
166. 金属硅化物膜的制作方法和金属氧化物半导体器件
167. 低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
168. 硅薄膜异质结太阳电池的制备方法
169. 底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法
170. 低温多晶硅薄膜晶体管基板及其制作方法
171. 形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法
172. 多栅双沟道结构的多晶硅薄膜晶体管
173. 一种具有金属上扩散层的金属诱导多晶硅薄膜制造方法
174. 具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
175. 多晶硅薄膜及采用它制造的薄膜晶体管
176. 单晶硅膜的制造方法
177. 用于沉积含硅薄膜的前体及其方法
178. 激光退火多晶硅薄膜晶体管栅绝缘层的制备方法
179. 氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法
180. 多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法
181. 氮化硅膜的沉积制造方法及沉积系统
182. 制备绝缘体上锗硅薄膜材料的方法
183. 掺杂碳的二氧化硅膜的沉积方法与金属内连线的制造方法
184. 用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法
185. 低温多晶硅薄膜晶体管基板
186. 以六氯乙硅烷进行的含硅膜的沉积
187. 用作金属间电介质的低K和超低K有机硅酸盐膜的疏水性的恢复
188. 氧气氛下等离子体氧化制备二氧化硅薄膜的方法
189. 制造氧化硅薄膜和光学多层膜的方法
190. 反冲洗式弹簧—硅藻土膜过滤器
191. 低温多晶硅薄膜晶体管
192. 低温多晶硅薄膜晶体管
193. 硅胶包膜巩膜后埋藏磁片
194. 使用非晶硅薄膜晶体管的高稳定性位移电路
195. 多晶硅薄膜晶体管制造方法
196. 微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法
197. 硅薄膜太阳能电池的制造方法
198. 硅膜传感器芯片的封装
199. 低介电常数绝缘介质氧化硅薄膜及其制备方法
200. 用聚乙烯醇作为模板制备多孔二氧化硅薄膜的方法
201.具有双栅极结构的非晶硅薄膜晶体管及其制造方法
202.氮化硅膜的制造方法
203.低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
204.形成多晶硅薄膜的方法
205.薄膜晶体管的制造方法与修补多晶硅膜层之缺陷的方法
206.多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构