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1. 一种氮化硅膜的生长方法
2. 形成多晶硅薄膜的方法
3. 低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法
4. 多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法
5. 一种多晶锗硅薄膜的制备方法
6. 高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法
7. 氧化硅膜的成膜方法以及成膜装置
8. 具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
9. 在硅衬底上磁控溅射制备铁磁性锰硅薄膜的方法
10. 一种介孔二氧化硅膜的制备方法
11. 一种多晶锗硅薄膜的制备方法
12. 在具有深槽图形的硅基衬底上制作硅薄膜的方法
13. 氮化硅薄膜及其制造方法
14. 高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
15. 笼型多聚物制孔超低介电氧化硅薄膜及其制备方法
16. 运用晶格应变制备高电子迁移率氢化纳米硅薄膜的方法
17. 基于二氧化硅薄膜的悬臂梁式点样针尖的集成制造方法
18. 氢化纳米硅薄膜的制备方法
19. 半导体光伏器件级纳米硅薄膜的制备方法
20. 太阳能电池纳米晶硅薄膜的物理气相沉积装置及其方法
21. 溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用
22. 浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用
23. 制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管
24. 多晶硅薄膜的制造方法以及由此获得的薄膜晶体管
25. 金属硅酸盐膜的成膜方法及其装置、半导体装置的制造方法
26. 结晶性硅薄膜的形成方法及装置
27. 用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法
28. 多晶硅薄膜晶体管的形成方法
29. 一种选择性外延锗硅薄膜的制备方法
30. 低介电常数多孔氧化硅薄膜及其制备方法
31. 多晶硅薄膜的制作方法
32. 二氧化硅膜、该膜的形成材料和相关产品、及其制造方法
33. 一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法与设备
34. 薄膜晶体管及低温多晶硅薄膜晶体管之多晶硅层的制造方法
35. 提高硅薄膜致密性的制备方法
36. 硅膜形成装置
37. 使用紫外线辐射使含硅薄膜低温外延生长的方法
38. 应力被调节的单层氮化硅膜及其沉积方法
39. 氧化硅膜的形成方法、半导体装置的制造方法及计算机存储介质
40. 制备氮化硅膜的方法
41. 具有控制应力的氮化硅膜
42. 用于制造晶体管的低热预算氮化硅膜及其制备方法
43. 用于二氧化硅或金属硅酸盐薄膜的前体
44. 多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法
45. 氮化硅膜形成方法及装置
46. 制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法
47. 借由控制膜层生成前驱物来控制所沉积氮化硅膜的性质及均一性的方法
48. 一种生长非晶态硅的方法及所得的非晶态硅薄膜
49. 多晶硅薄膜晶体管的制作方法
50. 氧化硅包膜荧光粉及其包膜方法
51. 硅薄膜太阳电池集成组件的制备技术
52. 硅薄膜太阳电池用P型窗口层及其制备方法
53. 一种氮氧化硅薄膜的等离子处理程度的光学检测方法
54. 具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
55. 具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法
56. 一种介孔二氧化硅膜及一种抗生素制药废水净化处理方法
57. 形成多晶硅薄膜装置的方法
58. 通过后PECVD沉积UV处理增加氮化硅膜的拉伸应力的方法
59. 增加PECVD氮化硅膜层的压缩应力的方法
60. 多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
61. 一种硅薄膜光电池的电极图案及蚀刻方法
62. 形成含硅薄膜的方法
63. 廉价多晶硅薄膜太阳电池
64. 异形硅薄膜太阳能电池
65. 多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶体管的制造方法
66. 一种低温化学气相沉积制备氮化硅薄膜的方法
67. 有机硅树脂膜，其制备方法和纳米材料填充的有机硅组合物
68. 用尘埃等离子体在常温下沉积碳化硅薄膜的装置
69. 制造多晶硅薄膜的方法
70. 金属硅酸盐膜的形成方法以及记录介质
71. 掺杂氮化硅薄膜的低温沉积方法及装置
72. 一种生长二氧化硅薄膜的方法
73. 二氧化硅膜形态的控制
74. 低温多晶硅薄膜制造方法
75. 柔性非晶硅薄膜太阳电池
76. 用于高性能CMOS应用的超薄Hf掺杂氮氧化硅膜及制造方法
77. 氧化硅膜的制造方法、其控制程序、存储介质和等离子体处理装置
78. 使用透明基板制造多晶硅膜的方法和装置
79. 去除硅片背面氮化硅膜的方法
80. 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
81. 环状硅氧烷化合物、含硅膜形成材料及其用途
82. 非晶硅薄膜晶体管及具有该晶体管的有机发光显示器件
83. 高取向性硅薄膜形成方法、三维半导体器件及其制造方法
84. 低温直接沉积多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
85. 低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法
86. 双面硅胶薄膜成型机
87. 含硅薄膜的形成方法与减少微粒数目的方法
88. 一种异形硅薄膜太阳能电池
89. 用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置
90. 用于制备受控应力的氮化硅膜的方法
91. 使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法
92. 适用于有机发光二极管显示器的多晶硅薄膜象素电极
93. 表面修饰溶液诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法
94. 择优取向的多晶硅薄膜的制备方法
95. 多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
96. 形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法
97. 氮氧化硅膜的形成方法、形成装置以及程序
98. 叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
99. 使用原子层沉积法的氮化硅膜的形成方法
100. 多晶硅膜层的制造方法
101. 用以成形非晶硅膜的连续腔室
102. 氮化硅膜湿法腐蚀工艺方法
103. 非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划系统及刻划方法
104. 新颖沉积-等离子硬化循环处理以提高二氧化硅膜品质方法
105. 等离子体CVD方法、氮化硅膜的形成方法和半导体装置的制造方法
106. 等离子体CVD方法、氮化硅膜的形成方法、半导体装置的制造方法和等离子体CVD装置
107. 使用含碳的硅薄膜形成超浅接合区的方法
108. 陶瓷基片非晶硅薄膜太阳能电池
109. 包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法
110. 根据氮化硅薄膜应力校准薄膜沉积机台中机械手位置的方法
111. 用于建筑的非晶硅薄膜太阳能电池组件及其加工方法
112. 获得氢化硅薄膜粗糙表面的方法
113. 减少氢化硅薄膜光伏器件内反射的方法
114. 非晶硅薄膜的处理方法
115. 微晶硅薄膜的形成方法
116. 具有基于碳化硅的非晶硅薄膜晶体管的堆叠非易失性存储器及其制造方法
117. 微晶硅膜形成方法以及太阳电池
118. 一种提高发光效率的稀土掺杂二氧化硅薄膜制备方法
119. 多晶硅横向结晶方法以及应用其制造的多晶硅薄膜晶体管
120. 一种结晶硅薄膜的制备方法
121. 金属硅化物薄膜的制备方法
122. 氮化硅薄膜及接触刻蚀停止层的形成方法
123. 用于溅镀张力氮化硅膜的系统和方法
124. 有机硅树脂膜，其制备方法和纳米材料填充的有机硅组合物
125. 自对准硅化物膜制程及结构
126. 多晶硅膜阻值的测试方法
127. 电容耦合等离子体装置及在硅衬底上生长碳化硅薄膜的方法
128. 用流动梯度设计沉积均匀硅膜的方法和装置
129. 多晶硅薄膜的制备方法
130. 多晶硅薄膜的制备方法
131. 氢氩高稀释方法生产氢化硅薄膜
132. 硼迹量掺杂的本征氢化硅薄膜
133. 再次沉积的非晶硅薄膜
134. 一种具有陷光结构的硅薄膜光电池
135. 用于建筑的非晶硅薄膜太阳能电池组件
136. 用来改变氧化硅和氮化硅膜的介电性能的有机硅烷化合物
137. 一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备
138. 非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备
139. 单/多晶硅薄膜及其组件的制备装置
140. 一种硅薄膜太阳能电池
141. 制造微晶硅薄膜的方法
142. 低温多晶硅薄膜制作方法
143. 单晶硅薄膜及其组件的制备方法
144. 非晶硅薄膜光伏模块的分流缺陷的钝化方法
145. 一种高氨基含量有序介孔二氧化硅薄膜及其制备方法和应用
146. 活塞环表面涂覆氮化硅膜层的方法
147. 一种制备非晶氢硅薄膜的装置
148. 生产硅胶薄膜的模具
149. InN材料作衬底或缓冲层制备InN/锗或InN/硅薄膜及制备方法
150. 自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用
151. 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法
152. 一种硅薄膜太阳能电池及其制造方法
153. 一种纳米硅薄膜的制备方法
154. 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
155. 陶瓷基片结晶硅薄膜太阳能电池
156. SnO*为衬底的微晶硅薄膜太阳电池用透明导电薄膜的制备方法
157. 改善单室沉积本征微晶硅薄膜的制备方法
158. 二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源
159. 氧等离子体辅助脉冲激光沉积法制备二氧化硅薄膜的方法
160. 多晶硅薄膜及其组件的制备方法
161. 用于将激光束辐照到非晶硅薄膜上的装置
162. 用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液
163. 一种低介电常数氧化硅薄膜的化学气相淀积方法
164. 电子回旋共振等离子体化学汽相淀积氮化硅薄膜的方法
165. 制作多晶硅薄膜的方法
166. 从有机氨基硅烷前体制备氧化硅薄膜的方法
167. 一种生产硅胶薄膜的模具
168. 制备非晶氢硅薄膜的方法及装置
169. 在真空中涂覆氮化硅薄膜的方法
170. 宏观取向有序介孔二氧化硅薄膜的制备方法
171. 氢化非晶硅薄膜太阳电池及制备方法
172. 用于边缘限定硅膜生长法生产带状多晶硅的装置
173. 通过来自乙硅烷前体的远程等离子体CVD的高质量氧化硅膜
174. 硅膜的干刻蚀方法
175. 一种微晶硅薄膜太阳能电池
176. 一种柔性非晶硅薄膜太阳电池的制备方法
177. 圆形硅薄膜太阳能电池
178. 低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
179. 用于太阳电池片氮化硅膜致密性测量的载片
180. 一种超疏水透明二氧化硅薄膜的制备方法
181. 多晶硅薄膜组件的制备方法
182. 多晶硅膜的形成方法
183. 非晶硅薄膜太阳能电池刻蚀偏差的修正方法
184. 平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统
185. 利用硅膜柱吸附RNA的RNA提取方法
186. 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
187. 一种硅薄膜太阳能电池的制作方法
188. 硅胶膜活化液及其在核酸提取中的应用
189. 一种等离子增强的感应蒸发硅薄膜沉积方法
190. 等离子增强循环沉积氮化金属硅膜的方法
191. 晶粒尺寸可控的多晶硅薄膜制备及检测装置
192. 一种制备多晶硅薄膜太阳电池的方法和装置
193. 一种多晶硅薄膜的制备方法及其制备系统
194. 氧化硅膜、其制备方法以及具有使用其的栅极绝缘膜的半导体器件
195. 氮化硅膜的干刻蚀方法
196. 高速沉积优质本征微晶硅薄膜的制备方法
197. 氮化硅膜、半导体装置及其制造方法
198. 一种叠层高效纳米硅薄膜太阳能电池
199. 多晶硅薄膜晶体管
200. 含硅膜的等离子体增强周期化学气相沉积
201. 一种发光碳化硅薄膜的制备方法
202. 一种碳氮化硅薄膜的制备方法
203. 平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统
204. 表面加工多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试方法
205. 多晶硅薄膜太阳能电池专用设备
206. 具有轻掺杂漏极区的多晶硅薄膜晶体管的制造方法