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1. 直拉硅单晶炉热场的气流控制方法及装置
2. 一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置
3. 一种提高直拉硅单晶棒中氧含量的方法及增氧器
4. 直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
5. 一种微量掺锗直拉硅单晶
6. 多晶硅融化掺氮生长微氮硅单晶的方法
7. 一种生长硅单晶的方法
8. 氮气氛生长氮浓度可控微氮硅单晶的方法
9. 制造硅单晶所用的晶种及制造硅单晶的方法
10. 绝缘层上覆硅单晶芯片结构及其制造方法
11. 制造高掺杂硅单晶的方法
12. 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法
13. 气相预掺杂和中子辐照掺杂组合的区熔硅单晶的生产方法
14. 硅单晶颈部内消除位错的方法
15. 用于控制硅单晶生长的系统和方法
16. 直拉(切氏法)硅单晶的氮保护气氛
17. 以纯氮作为保护气氛 的重掺锑硅单晶的制造方法
18. 半导体器件的高氧含量硅单晶基片及其制法
19. 绝缘衬底上混合源双面硅单晶生长
20. 直拉硅单晶的气相掺氮方法
21. 一种微氮低氧化碳直拉硅单晶的制备方法
22. 一种中低阻直拉硅单晶的制备方法
23. 制备硅单晶的方法和设备
24. 控制直拉硅单晶中氮含量的方法
25. 制造硅单晶的方法和设备
26. 制取硅单晶的设备
27. 制造硅单晶的设备
28. 碳化硅单晶纤维及其制法
29. 硅单晶制造装置
30. 制造硅单晶设备
31. 硅单晶薄片制造晶体管的方法
32. 含氮直拉硅单晶的热处理方法
33. 生产碳化硅单晶的方法
34. 硅单晶的生产方法以及实现该方法的加热装置
35. 硅单晶的制造方法及其使用的晶种
36. 用硅衬底β碳化硅晶体薄膜生长碳化硅单晶体
37. 制造碳化硅单晶的方法和用于制造碳化硅单晶的装置
38. 生产硅单晶的直拉区熔法
39. 控制硅单晶生长的方法与系统
40. 去除硅单晶中重金属杂质的方法
41. 直拉硅单晶生长的重掺杂方法
42. 硅片及硅单晶的制造方法
43. 块状碳化硅单晶生长的制备方法
44. 直拉法生长掺镓硅单晶的方法和装置
45. 硅单晶的培育方法、以及硅晶片和使用该硅晶片的SOI衬底
46. 硅单晶的制造方法和硅晶片
47. 一种直拉硅单晶炉的熔硅液面位置的控制方法
48. 硅单晶的制造方法及硅片的制造方法
49. 一种改进的生长掺杂硅单晶体的方法及其装置
50. 硅单晶的培育方法和采用该方法培育的硅单晶
51. 硅单晶的生长方法及硅晶片的制造方法
52. 制备碳化硅单晶的方法
53. 硅单晶提拉装置及其方法
54. 硅单晶片贴带装置
55. 直拉法生长掺镓硅单晶的装置
56. 一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体
57. 直拉硅单晶制备用坩埚
58. 一种直拉硅单晶制备用坩埚
59. 基于区熔硅单晶的双极光晶体管及其探测方法
60. 高电阻率碳化硅单晶体及制造方法
61. 生产高强度直拉硅单晶用的籽晶的制备方法
62. 一种生长直拉硅单晶的重掺杂方法及掺杂装置
63. 太阳能级硅单晶生产工艺方法
64. 一种消除硅单晶片器件制作区原生坑缺陷的方法
65. 直拉法硅单晶生长用硅籽晶及其加工方法
66. 制造掺杂高挥发性异物的硅单晶的方法
67. 硅单晶及其制造方法
68. 一种具有晶格补偿的重掺硼硅单晶衬底
69. 检测N型重掺硅单晶片或锭晶格缺陷的方法
70. 一种磁场下生长低缺陷密度直拉硅单晶的方法
71. 硅单晶的生产方法及装置、硅单晶和硅半导体晶片
72. 物理气相传输生长碳化硅单晶的方法及其装置
73. 用于重掺直拉硅单晶制造的掺杂方法及其掺杂漏斗
74. 用于八英寸重掺砷直拉硅单晶制造的上部热场
75. 用于六英寸及八英寸重掺磷直拉硅单晶制造的上部热场
76. 半导体器件与集成电路硅单晶废弃片的回收利用方法
77. 直拉硅单晶中低氧控制方法
78. 一种拉制硅单晶工艺方法
79. 大直径区熔硅单晶制备方法
80. 半导体集成电路硅单晶片衬底背面氮化硅层的新腐蚀方法
81. 液体涂抹法区熔硅单晶的掺锗方法
82. 磁场直拉硅单晶的制备方法
83. 区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的制备方法
84. 硅晶片及其制造方法、以及硅单晶生长方法
85. 硅单晶的生长方法、生长装置及由其制造的硅片
86. 制造具有受控制的碳含量的硅单晶的方法
87. 硅单晶衬底材料抛光液及其制备方法
88. 制备碳化硅单晶的方法
89. 硅单晶衬底材料表面粗糙度的控制方法
90. 大直径区熔硅单晶生产方法
91. 气相预掺杂和中子辐照掺杂组合的区熔硅单晶的生产方法
92. 区熔气相掺杂太阳能电池硅单晶的生产方法
93. 气相掺杂区熔硅单晶的生产方法
94. 区熔硅单晶炉电气控制系统
95. 光学玻璃和硅单晶非球面光学元件的加工方法
96. 硅单晶片器件制备区域表面完美性的控制方法
97. 一种碳化硅单晶生长后的热处理方法
98. 一种太阳能级硅单晶用料配方及制备
99. 高质量硅单晶的生长方法和装置、硅单晶结晶块及硅晶片
100. 制造硅单晶的方法
101. 高质量硅单晶结晶块的生长装置及使用此装置的生长方法
102. 碳化硅单晶及其蚀刻方法
103. 一种清除直拉硅单晶炉内SiO的方法及装置
104. 一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉
105. <110>无位错硅单晶的制造方法
106. 供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
107. 硅片及其制造方法，以及硅单晶的培育方法
108. 直拉法生长硅单晶产生的锅底料的除杂方法
109. 一种控制硅单晶切磨片残留损伤层厚度的方法
110. 用于大碳化硅单晶的高品质生长的籽晶和籽晶夹持器组合
111. 用于制造高质量硅单晶锭的方法以及由其制得的硅单晶片
112. IGBT用硅单晶片和IGBT用硅单晶片的制造方法
113. 利用微影区域迭对测量仪监控硅单晶外延层层错状况的方法
114. 硅单晶锭X射线定向仪
115. 碳化硅单晶的制造方法
116. 一种低电阻/高温度系数硅单晶热敏电阻及其制备方法
117. 一种硅单晶薄片预扩散单面减薄制造晶体管的方法
118. 硅单晶提拉方法
119. 硅单晶的生产方法
120. 一种硅单晶薄片氧化单面预扩散制造晶体管的方法
121. 硅单晶提拉装置
122. 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
123. 一种硅单晶片制造开放PN结快恢复整流二极管的方法
124. 块状碳化硅单晶的生产
125. 一种薄型硅单晶抛光片加工方法
126. 一种控制直拉硅单晶生长过程中晶体和熔体界面处的温度梯度及热历史的方法
127. 制造碳化硅单晶的方法
128. 碳化硅单晶的制造方法
129. 绝缘层上覆硅单晶芯片结构
130. 用于减少硅单晶棒截断崩边的工具
131. 硅单晶炉热系统装置
132. 用于检查硅单晶棒上的切口位置的工具
133. 硅单晶锭X射线定向仪
134. 区熔硅单晶炉电气控制装置
135. 一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉
136. 太阳能硅单晶炉的冷却水系统
137. 太阳能硅单晶炉的组合铜排
138. 从不规则硅块钻取硅单晶棒的工具
139. 用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件
140. 一种直拉硅单晶生长的热场结构
141. 一种硅单晶炉磁流体密封装置
142. 硅单晶炉生长晶体实时称重装置
143. 一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料用的锥形底托
144. 一种用于切克劳斯基法制造硅单晶再装料或籽晶装置中钢绳的紧固件