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1.光罩与应用其形成多晶硅层的方法 2、我们只提供专利技术资料的检索服务，不代表任何权利的转让。本站也不销售任何相关产品和设备，暂时也不提供市场方面的信息服务。
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2.双掺杂多晶硅及锗化硅的蚀刻
3.利用双多晶硅的位线注入
4.铸模及其形成方法,和采用此铸模的多晶硅基板的制造方法
5.一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
6.多晶-硅-锗栅极叠层及其形成方法
7.具有发射极多晶硅源/漏区的EEPROM单元的制造
8.低电压单层多晶硅电可擦编程只读存储器(EEPROM)存储单元
9.多晶硅板制备方法
10.MTV播放器低温多晶硅显示装置
11.由P+或者N+掺杂多晶硅形成其传输门电路的图像传感器像素
12.减少在氮离子注入时产生多晶硅化金属空洞的方法
13.光电二极管上设有多晶硅层的图像传感器及像素
14.一种多晶硅刻蚀工艺中的颗粒控制方法
15.一种改善线条粗糙度的多晶硅刻蚀方法
16.具有多晶硅层的显示面板及其制造方法
17.低温多晶硅薄膜晶体管显示面板及其制造方法
18.多晶硅薄膜制造方法和具有其的薄膜晶体管的制造方法
19.带有掺杂多晶硅场发射阴极阵列结构的平板显示器及其制作工艺
20.制备多晶硅薄膜的方法以及用其制备半导体器件的方法
21.一种生产多晶硅用的还原炉
22.具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法
23.具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器
24.一种多晶硅振动膜硅微电容传声器芯片及其制备方法
25.制备具有W/WN/多晶硅分层薄膜的半导体器件的方法
26.降低多晶耗尽效应的制作多晶硅栅极晶体管的方法
27.单层多晶硅电可擦可编程只读存储器
28.多晶硅薄膜晶体管的制作方法
29.多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
30.一种制备多晶硅的方法
31.溶液法金属诱导晶化大晶粒多晶硅薄膜材料及制备和应用
32.浸沾法金属诱导碟形晶畴多晶硅薄膜材料及制备和应用
33.低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
34.薄膜晶体管与多晶硅层的制造方法
35.在流化床反应器中制备颗粒状多晶硅的方法和装置
36.廉价多晶硅薄膜太阳电池
37.在屏蔽的栅极场效应晶体管中形成多晶硅层间电介质的结构和方法
38.一种太阳能级多晶硅的生产方法
39.多晶硅的制备
40.一种多晶硅刻蚀的方法
41.多晶硅栅层的沉积方法
42.一种改进型栅极多晶硅掩膜层去除方法
43.一种单层多晶硅栅OTP器件及其形成方法
44.多晶硅刻蚀的方法
45.量测多晶硅线底部形状的方法
46.双极CMOS器件多晶硅刻蚀方法
47.一种多晶硅电容耦合OTP器件及其制造方法
48.多用途多晶硅边缘测试结构
49.非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
50.改善多晶硅缺陷的方法
51.一种能够消除残气影响的多晶硅刻蚀工艺
52.一种去除多晶硅刻蚀工艺中残留聚合物的方法
53.一种防止多晶硅刻蚀中器件等离子损伤的刻蚀工艺
54.具复合多晶硅层的半导体结构及其应用的显示面板
55.在半导体装置中形成多晶硅层的方法
56.形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件
57.一种多晶硅栅刻蚀终点的检测装置
58.多晶硅晶棒的制造方法
59.电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳
60.多晶硅太阳能发电并网装置
61.形成多晶硅薄膜的方法
62.一种减少多晶硅生长工艺崩边的石英舟
63.多晶硅薄膜的制作方法
64.一种多晶硅存储元件及其制备方法
65.多晶硅薄膜晶体管液晶显示面板及其制造方法
66.一种低温多晶硅薄膜器件及其制造方法与设备
67.多晶硅太阳电池绒面的制备方法
68.多晶硅炉的喷嘴
69.用于静电放电保护的改善多晶硅-源区边界电场的结构
70.多晶硅太阳能发电并网装置
71.高压集成电路中制作高阻值多晶硅电阻的方法
72.用于应变硅MOS晶体管的多晶硅栅极掺杂方法和结构
73.形成多晶硅薄膜的方法
74.高压水气退火的多晶硅薄膜晶体管组件的制作方法
75.用于连续横向固化技术的掩膜及用其形成多晶硅层的方法
76.薄膜晶体管的制造方法与修补多晶硅膜层之缺陷的方法
77.具有低掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
78.用于制造垂直DRAM中的钨/多晶硅字线结构的方法及由此制造的器件
79.多晶硅栅极掺杂方法
80.一种单层多晶硅栅MTP器件及其制造方法
81.一种单层多晶硅栅可编程器件及其形成方法
82.有机发光二极管显示面板及其多晶硅通道层的形成方法
83.半导体器件的着片多晶硅接触结构及栅极结构的制造方法
84.多晶硅自对准插塞的制作方法
85.闪存装置制造中用于多晶硅-1定义非临界互补掩膜方法
86.气体分布控制系统及多晶硅栅极刻蚀与硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法
87.一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
88.低温多晶硅薄膜制造方法
89.挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅
90.多晶硅基片结晶度的测量方法及其应用
91.用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
92.多晶硅-绝缘层-金属结构的电容及其制作方法
93.用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
94.监控两层多晶硅叠栅未对准的方法
95.使用透明基板制造多晶硅膜的方法和装置
96.提高多晶硅栅极层厚度均匀性的方法
97.一种制作多晶硅发射极界面层的方法
98.超厚多晶硅回刻的方法
99.一种制备太阳能级多晶硅的方法
100.单层多晶硅可电除可程序只读存储单元的制造方法
101.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法
102.多晶硅刻蚀腔体
103.多晶硅图案形成方法、多层交叉点电阻存储器及制造方法
104.多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
105.一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法
106.低温多晶硅驱动电路
107.多晶硅层及其制造方法
108.利用多晶硅区的I/O ESD保护的系统和方法
109.在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法
110.多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
111.低温直接沉积多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
112.低温多晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法
113.制备多晶硅用铸锭炉
114.用于显示影像的系统及低温多晶硅的激光退火方法
115.通过自对准形成多晶硅浮栅结构的方法
116.将非晶硅结晶成多晶硅的方法及使用于此方法之光刻掩膜
117.多晶硅冶炼用调压变压器
118.多晶硅层、使用其的平板显示器及其制造方法
119.多晶硅层、制造其的方法和平板显示器
120.一种掺杂锗的定向凝固铸造多晶硅
121.低温多晶硅液晶显示结构及其制造方法
122.具有金属和多晶硅栅电极的高性能电路及其制造方法
123.高纯度多结晶硅的制造方法及制造装置
124.使用固体激光器退火的多晶硅薄膜制备半导体器件的方法
125.适用于有机发光二极管显示器的多晶硅薄膜象素电极
126.一种锌还原法生产多晶硅的工艺
127.表面修饰溶液诱导晶化多晶硅薄膜的制备方法
128.单层多晶硅非易失性存储器装置的操作方法
129.择优取向的多晶硅薄膜的制备方法
130.一种用稻壳制备太阳能电池用多晶硅的方法
131.具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
132.多晶硅薄膜、其制法以及用该膜制造的薄膜晶体管
133.形成多晶硅薄膜的方法及用该方法制造薄膜晶体管的方法
134.叠层储存电容器结构、低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器
135.直接沉积多晶硅的方法
136.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法
137.利用浮动和/或偏置多晶硅区域的静电保护系统和方法
138.多晶硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
139.多晶硅/体硅ESD结构保护的垂直双扩散金属氧化物半导体功率器件
140.P型太阳能电池等级多晶硅制备工艺
141.供高温力学量传感器用的纳米多晶硅-氮化铝隔膜-硅单晶衬底基片
142.采用无氯烷氧基硅烷制备多晶硅的方法
143.形成多晶硅薄膜装置的方法
144.多晶硅膜的制造方法以及薄膜晶体管的制造方法
145.多晶硅层以及薄膜晶体管的制造方法
146.用于多晶硅低温结晶化的金属催化剂掺杂装置及通过该装置进行掺杂的方法
147.具有平坦表面的多晶硅薄膜及其制造方法
148.用于沉积多晶硅的CVD装置
149.用于减小多晶硅高度的SOI底部预掺杂合并e-SiGe
150.一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
151.一种太阳能电池用高纯多晶硅的制备方法和装置
152.激光辐射方法和形成多晶硅薄膜的装置
153.倾倒式多晶硅真空拉锭炉
154.太阳能等级多晶硅的制备方法
155.多晶硅的等离子生产方法及其装置
156.一种可改善多晶硅栅极侧面轮廓的栅极制作方法
157.多晶硅铸锭炉用石墨坩锅
158.多晶硅氢还原炉测温视镜结构
159.适用于低压常规电源加热启动的多晶硅氢还原炉
160.多晶硅氢还原炉进气喷口
161.多晶硅氢还原炉
162.多晶硅氢还原炉
163.多晶硅氢还原炉
164.多晶硅氢还原炉
165.改进型多晶硅还原炉
166.具有多晶硅多层绝缘结构的非易失性存储单元
167.高能束流多晶硅提纯装置
168.低温多晶硅薄膜制作方法
169.一种多晶硅刻蚀腔室中陶瓷材料零件表面的清洗方法
170.多晶硅氢还原炉的硅芯棒加热启动方法
171.一种消除多晶硅刻蚀过程出现缝隙的方法
172.多晶硅的制造方法
173.用高密度等离子氧化层作为多晶硅层间绝缘层的分隔栅的构成
174.一种多晶硅刻蚀腔室中阳极氧化零件表面的清洗方法
175.多晶硅铸锭炉的热场结构
176.多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
177.多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
178.多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
179.制备大面积多晶硅方法
180.包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法
181.自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用
182.多晶硅硅化物电熔丝器件
183.多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
184.多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
185.多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
186.一种利用多晶硅构建ESD泄放通道的防护器件
187.制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置
188.多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
189.多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
190.用等离子方法生产多晶硅的装置
191.高纯多晶硅的无损材料检测方法
192.多晶硅控制的回蚀刻显示器
193.多晶硅介质平坦化的方法
194.多晶硅薄膜及其组件的制备方法
195.有源驱动有机电致发光显示屏中多晶硅TFT阵列的制作方法
196.多晶硅原料低能耗提纯制备方法
197.一种太阳能电池用多晶硅制造方法
198.多晶硅铸锭炉的热场结构
199.制作多晶硅薄膜的方法
200.高效太阳能电池用微晶多晶硅片无切割制备方法
201.太阳能级多晶硅大锭的制备方法
202.一种多晶硅的提纯方法及其凝固装置
203.尤其在闪存中用于刻蚀多晶硅上钨硅化物的方法
204.多晶硅锭制造装置
205.用单层多晶硅工艺形成高薄层电阻量电阻器和高电容量电容器
206.一种单层多晶硅、多位的非易失性存储元件及其制造方法
207.用于制造单晶或多晶材料、尤其是多晶硅的装置和方法
208.多晶硅的除硼方法
209.一种太阳能多晶硅原料提纯制备方法
210.蘸取式多晶硅太阳能电池p-n结的制作方法
211.用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术
212.利用纵向多晶硅增加静电泄放通道的静电放电防护器件
213.一种单一内嵌多晶硅存储结构及其操作方法
214.一种利用多晶硅构建ESD泄放通道的防护电路
215.生成低电阻自对准多晶硅化物栅极和台面接触区MOSFET器件的结构和方法
216.多晶硅太阳能电池织构层的制备方法
217.一种转化四氯化硅制取三氯氢硅和多晶硅的方法
218.多晶硅栅表面的清洗方法
219.表面加工多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试方法
220.多晶硅薄膜太阳能电池专用设备
221.以高纯石英砂为原料生产太阳能级多晶硅的方法
222.具有轻掺杂漏极区的多晶硅薄膜晶体管的制造方法
223.包含多晶硅的半导体器件及其制造方法