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| 1.单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器 2.双电容金属氧化物半导体硅基高速高调制效率电光调制器 3.三电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器 4.单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 5.单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 6.绝缘体上的硅(SOI)衬底的制造工艺 7.单晶硅切方机构 8.单晶硅切方装置 9.组合基片只读存储器及其制造方法 10.单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法 11.单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 12.单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 13.绝缘体上的硅衬底的制造方法 14.一种无机化合物氮化镓纳米线的制取方法 15.光开关 16.基于硅硅键合的全干法深刻蚀微机械加工方法 17.绝缘体上半导体装置的制造方法 18.单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法 19.单晶硅生产装置 20.平板单晶硅表面的改性方法 21.n型单晶硅片的表面处理方法 22.衬底的处理方法和装置以及SOI衬底 23.全干法硅-铝-硅结构微机械加工方法 24.光纤微机电系统压力传感器及其制作方法 25.掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法 26.p型单晶硅片的表面处理方法 27.全干法刻蚀硅溶片制造方法 28.生产松弛SiGe衬底的方法 29.单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法 30.非挥发性半导体存储器及其制作方法 31.半导体衬底及其制造方法 32.贴合晶片及贴合晶片的制造方法 33.直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法 34.单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置 35.单晶硅基片的表面处理方法和硅外延片的制造方法 36.半导体衬底及其制造方法、半导体器件及其制造方法 37.制作腔体的方法与缩减微机电元件的尺寸的方法 38.精密控制硅中氧的沉淀 39.采用V型槽介质隔离工艺的体硅加工方法 40.单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法 41.采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法 42.单片集成电容器 43.半导体器件及其制法、SOI衬底及其制法和其显示器件 44.高效率太阳能电池 45.单晶硅生产设备 46.利用有选择的外延生长方法的半导体器件制造方法 47.高传热效率的热汽喷墨打印头及其制造方法 48.一种制造机械调制式发射和接收模块的方法 49.单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法 50.溶胶-凝胶法稀土纳米膜的制备方法 51.测量半导体硅材料P/N型及电阻率的多功能测试仪 52.纳米硅异质结反向二极管及其制备方法 53.在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法 54.发光二极管和激光器制作方法及发光二极管和激光器 55.双腔式双金属膜热驱动微型泵 56.一种基于微光机电系统的阵列式激光收发集成传感器 57.静电式微机械全光开关制造方法 58.电容式加速传感器 59.微机械光纤定位器 60.压阻式矢量水t器装置 61.单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 62.非挥发性半导体存储器及其制作方法 63.单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法 64.单晶硅薄膜及其组件的制备方法 65.单晶硅高效复合切割方法及其切割系统 66.单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置 67.单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法 68.一种具有负电阻温度系数的单晶硅热敏电阻器及其制造方法 69.单晶硅晶片及单晶硅的制造方法 70.纳米硅异质结二极管 71.外延晶片及其制造方法 72.SOI晶片的制造方法 73.一种全硅集成流量传感器及其制造方法 74.叠层型光电元件 75.一种绝缘层上硅结构的制备方法 76.通过在硅锗合金熔点附近进行退火而制造SGOI的方法 77.高分辨硬X射线相衬位相差放大装置 78.X射线相衬位相差放大成像装置 79.单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法 80.单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法 81.大面积制备二氧化硅或者硅纳米线的控制生长方法 82.纳米尺度微型温度传感器的制作方法 83.N型基体单晶硅太阳电池 84.高迁移率块体硅p沟道场效应晶体管 85.单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法 86.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法 87.具有硅-锗层的半导体晶片及其制备方法 88.垂直集成微电子机械结构、实现方法及其系统 89.一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构 90.单晶硅直径控制法及其设备 91.液晶显示装置及其制造方法 92.含金刚石膜的ＳＯＩ集成电路芯片材料及其制作工艺 93.用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器 94.单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法 95.金刚石膜上的薄层结构芯片材料及其制造方法 96.半导体部件的制造方法 97.低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用 98.用于单晶硅生长的非Dash缩颈法 99.硅-立方氮化硼薄膜的类P-N结电子器件材料及其制作方法 100.硅基片及其制造方法 101.单晶硅衬底双面抛光片 102.基本上没有氧化诱生堆垛层错的掺氮硅 103.彩色液晶像素驱动晶体管的制造方法 104.静电式微机械全光开关 105.自适应触点的微机械继电器 106.硅片和单晶硅锭 107.单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法 108.单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片 109.半导体加速感测器 110.半导体压力传感器 111.单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法 112.半导体器件及其制法、SOI衬底及其制法和其显示器件 113.一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻及其制备方法 114.一种用于氮化镓外延生长的复合衬底 115.光纤微电子机械系统压力传感器及其复用装置 116.微硅麦克风及其制备方法 117.单晶硅的生长方法 118.纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 119.微型移动装置及其制作方法 120.单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法 121.形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法 122.反射式单晶硅液晶面板 123.生产单晶硅的方法 124.单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法 125.法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法 126.超声波清洗单晶硅片装置 127.过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻 128.用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 129.一种太阳能多晶硅原料提纯制备方法 130.微光学装置制造方法 131.基于硅硅键合的高深宽比微机械加工方法 132.半导体压力传感器及其制造方法 133.抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长的方法及装置 134.恰克拉斯基法硅晶体生长系统的快速冷却 135.半导体衬底的制造方法 136.超薄硅油膜的制备方法 137.硅微机械短接式微带天线 138.具有伸张应变的沟道层的场效应晶体管结构及其制造方法 139.一种多孔硅的阴极还原表面处理技术 140.电容式半导体压力传感器 141.一种复合太阳能电池组件 142.微型热流加速度计及其制造方法 143.全光型硅微谐振式二维加速度传感器 144.制造单晶薄膜的方法以及由其制造的单晶薄膜器件 145.蒸镀掩模及制法、显示装置及制法以及具有其的电子机器 146.三维互补金属氧化物半导体晶体管结构及其制备方法 147.金属基微机械光纤定位夹的制备方法 148.一种测热式微型流量传感器 149.单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺 150.高能物理核磁电源 151.主动式微型光纤连接器 152.制作电容器的方法及包含此种电容器的单片式集成电路 153.测热式微型流量传感器 154.大动态微机械可变光衰减器 155.场效应晶体管及其制造方法、互补场效应晶体管 156.生产震动微机械结构的方法 157.单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法 158.电动自行车的便携式太阳能充电器 159.丝网印刷铝背发射结N型单晶硅太阳电池 160.带有正面钝化N型扩散层的N型硅太阳能电池 161.N型硅太阳能电池 162.单晶硅棒切方滚磨机床 163.联合平面FET和鳍片FET的器件 164.新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池 165.一种制造太阳能电池的磷扩散方法 166.用于增加多晶硅熔化速率的间歇式加料技术 167.互补绝缘体外延硅横向绝缘栅整流管 168.具有多层薄膜迭合的半导体层的薄膜光电电动势元件 169.区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 170.制造单晶硅的设备 171.单晶硅生产设备 172.单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽 173.硅微热致动泵及其制造工艺 174.单晶硅片各向异性腐蚀夹具 175.单晶硅锭及其制造方法 176.半导体基片的制作方法 177.低缺陷密度、自间隙原子受控制的硅 178.槽型元件分离结构的制造方法以及槽型元件 179.形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法 180.电光学装置的制造方法，电光学装置及电子机器 181.硅基蓝—紫光发光材料及其制备工艺 182.衬底及其制造方法 183.纳米硅微波开关二极管 184.制备电光装置衬底的方法、电光装置衬底、电光装置以及电子装置 185.单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法 186.单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法 187.退火晶片的制造方法以及退火晶片 188.在功能化有机硅烷自组装单层薄膜表面制备氧化锆陶瓷薄膜的方法 189.半导体器件的制造方法以及使用SOI基片的半导体芯片 190.半导体晶片及其制造方法以及半导体器件及其制造方法 191.一种多孔硅的阳极氧化表面处理技术 192.分离单晶硅埚底料中石英的工艺 193.湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器的方法 194.一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻 195.微型热流加速度计 196.双面光照单晶硅太阳电池 197.玻璃衬底上全干法深刻蚀硅微机械加工方法 198.制造半导体基底的方法和半导体基底 199.硅绝缘体晶片及其制造方法 200.半导体结构及其形成方法 |