硅片/硅片蚀刻/硅片切割/硅片研磨/硅片脱附/硅片抛光剂/硅片清洗剂专利技术2

1. 一种光刻机硅片台双台交换系统
2. 一种半导体硅片的减薄制造工艺 
3. 太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法及装置 
4. 太阳能电池硅片翘曲的解决方法 
5. 硅片表面的处理方法 
6. 硅片外延线性缺陷的测定方法 
7. 去除硅片背面氮化硅膜的方法 
8. 用于平滑转移方硅片的机械工具及其转移方法 
9. 多平台光刻机硅片水平控制和自动对焦系统及其实现方法 
10. 半导体硅片手动作业的工作台面及其制造方法 
11. 用碎硅片制备的太阳电池及其制备方法 
12. 硅块及硅片的制造方法 
13. 半导体硅片化学机械抛光用清洗液 
14. 用于硅片台的气动真空控制系统 
15. 一种增进硅片级封装(WLP)可靠度的封装结构 
16. 一种短波长光辅助硅片直接键合方法 
17. 加工研磨硅片载体的专用模具 
18. 单晶硅片水基清洗剂 
19. 多晶硅片水基清洗剂 
20. 一种硅片研磨载体的制作方法 
21. 一种太阳能硅片清洗剂 
22. 大面积硅片的旋转腐蚀系统和方法 
23. 制造高平度硅片的方法 
24. 硅片电镀用的科研实验系统 
25. 用于清洗硅片的刷片头 
26. 非接触式硅片夹持装置 
27. 硅片研磨表面应力消减方法 
28. 硅片研磨表面粗糙度控制方法 
29. 硅片切削崩边控制方法 
30. 浸入式湿法工艺中防止硅片背面沾污正面的方法 
31. 一种转移硅片的设备及使用方法 
32. 硅片清洗剂及其制备方法 
33. 优化硅片中芯片布局的方法和装置 
34. 三扫描式硅片调焦调平测量装置、系统以及方法 
35. 太阳能电池用的硅片处理方法 
36. 带有微腔的图形硅片真空键合方法 
37. 双扫描式硅片调焦调平测量装置及系统 
38. 一种硅片调焦调平测量装置 
39. 硅片背面干法喷砂制造吸杂源、消除硅抛光表面氧化雾的工艺方法 
40. 一种使用信号处理的方法进行硅片对准的对准系统及方法 
41. 基于SOI硅片的集成电路与电容式微硅麦克风的单片集成方法及芯片 
42. 用于易碎晶体硅片的双面连续串联焊接系统及其焊接方法 
43. 硅片抛光表面划伤的控制方法 
44. 硅片研磨表面划伤控制方法 
45. 硅片研磨速率控制方法 
46. 一种多晶硅片的制造方法 
47. 一种多晶硅片的制造方法 
48. 硅片角度定位装置及反应腔室 
49. 硅片顶针 
50. 一种取送硅片的机械手 
51. 一种具有俯仰功能的硅片盒平台 
52. 一种观察硅片表面的运动支撑机构 
53. 硅片清洗定位装置 
54. 硅片标记及其实现方法和读取方法 
55. 太阳能多晶硅片的制备方法 
56. 一种半导体硅片的清洗方法 
57. 硅片制品缺陷分析方法及装置 
58. 硅片周边缺口检查方法及装置 
59. 硅片周边缺口检查方法及装置 
60. 金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法 
61. 硅片腐蚀单面保护夹具 
62. 一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法 
63. 一种自动控制的硅片检查系统 
64. 硅片清洗脱胶夹具 
65. 一种单晶硅片制绒的方法 
66. 一种在单晶硅片表面制备ZrO复合薄膜的方法 
67. 一种具有高机械强度的掺锗直拉硅片及其制备方法 
68. 硅片预对准的方法 
69. 扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台 
70. 硅片蚀刻条件优化方法 
71. 半导体器件制备工艺中硅片平衡的检测装置及方法 
72. 硅片上的曝光对准标记 
73. 半导体硅片清洗装置及其清洗方法 
74. 半导体硅片的清洗方法 
75. 实现HALL芯片硅片级测试的探针卡及测试方法 
76. 自动检测硅片边缘的方法 
77. 多产品硅片测试方法 
78. 单晶硅片的COP产生原因的判定方法 
79. 硅片背面单片刻蚀设备 
80. 一种半导体功率器件用衬底硅片及其制造工艺 
81. 介质隔离集成电路硅片及其制备方法 
82. 单晶硅片的COP评价方法 
83. 一种镀膜外延圆硅片表面及边缘的处理方法 
84. 一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法 
85. 太阳能级寸单晶硅片切割工艺方法 
86. 一种改良的硅片甩干机密封结构 
87. 硅片和其制造方法及装置 
88. 一种反应离子刻蚀制备太阳电池硅片绒面的方法以及用该方法制造的太阳电池 
89. 用于光刻机预对准系统的硅片放置装置 
90. 硅片对准系统 
91. 一种硅片标记捕获系统与方法 
92. 硅片切割机 
93. 硅片切割机用切割线的收放线结构 
94. 硅片清洗液及其清洗方法 
95. 硅片检测工具及检测方法 
96. 一种改良的硅片切割液的冷却装置 
97. 硅片 
98. 一种机床刀具用单晶硅片表面涂层SiN复合薄膜的方法 
99. 旋涡式非接触硅片夹持装置 
100. 多线切割硅片的废旧料浆回收方法 
101. 采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统 
102. 重掺杂锑硅片的减薄腐蚀方法 
103. 一种用于半导体制造工艺中的硅片定位方法及定位机构 
104. 一种在单晶硅片表面制备SiN复合薄膜的方法 
105. 硅片器件的低温掺杂方法 
106. 一种光刻机硅片台双台交换系统 
107. 一种光刻机硅片台双台交换系统 
108. 硅片键合分离方法 
109. 高效太阳能硅片电池的印刷方法 
110. 硅片机械手 
111. 干法蚀刻方法以及硅片蚀刻方法 
112. 回收硅片切割液的方法 
113. 硅片载体使用的挂具 
114. 半导体硅片的清洗设备及清洗方法 
115. 一种硅片传输控制系统及方法 
116. 用于集成电路硅片的电镀槽及其电镀方法 
117. 一种光刻机硅片台双台交换系统 
118. 在硅片上复合ZnO锥状纳米结构的半导体材料及其制备方法 
119. 太阳能电池硅片检测系统 
120. 硅片的快速检测方法 
121. 基于UV固化工艺在硅片表面丝网印刷精细掩膜的方法 
122. 太阳能电池硅片的表面扩散处理工艺 
123. 一种太阳能电池硅片边缘及背面扩散层的刻蚀方法 
124. 一种单晶硅片的清洗方法 
125. 太阳能电池硅片损伤层厚度和少子寿命测量方法及装置 
126. 基于真空冻干技术在硅片表面丝网印刷精细掩膜的方法 
127. 一种硅片码片机 
128. 一种硅片清洗剂的制备方法 
129. 半导体硅片腐蚀液 
130. 光刻机硅片台移动装置及采用该移动装置的光刻机 
131. 采用磁悬浮平面电机的硅片台多台交换系统 
132. 一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法 
133. 一种在硅片上制作真空微腔的予键合装置 
134. 可程控硅片微区加热控制器 
135. 半导体热工艺的硅片承座校正工具 
136. 硅片工艺设备用阀门 
137. 多层硅片电火花切割固定夹具 
138. 具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪 
139. 倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪 
140. 硅片篮 
141. 硅片承载器 
142. 点接触式硅片测厚仪 
143. 一种应用于扫描电子显微镜硅片样品镀铂金的载体 
144. 太阳能硅片的热风干燥炉 
145. 太阳能硅片烧结炉 
146. 一种清除废硅片杂质的喷砂设备 
147. 高精度硅片台 
148. 硅片甩干机 
149. 晶体硅硅片扩散炉 
150. 太阳能电池硅片专用清洗篮 
151. 硅片清洗篮的同步夹持机械手 
152. 一种可避免贴膜时产生气泡的硅片台 
153. 一种硅片转移装置 
154. 下沉式硅片化学处理机械手 
155. 半导体硅片的清洗装置 
156. mm硅片倒片装置 
157. 硅片生产中使用的石墨舟 
158. 一种mm硅片倒片装置 
159. 可调式传递承载硅片的夹具 
160. 一种转移硅片的工装设备 
161. 硅片适配器 
162. 全自动硅片上下料机 
163. 观察硅片样品断面的样品台 
164. 一种用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置 
165. 一种防止硅片在生长多晶过程中产生崩边的石英舟 
166. 硅片电镀用的科研实验系统 
167. 超薄太阳能级硅片 
168. 硅片单面漂浮腐蚀装置 
169. 硅片镀膜用支撑架 
170. 用于硅片表面沉积反射膜的除尘刷盒 
171. 用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置 
172. 改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的装置 
173. 硅片自动开沟机 
174. 采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置 
175. 采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换装置 
176. 采用过渡承接装置的光刻机硅片台双台交换系统 
177. 用于盛装硅片的周转箱 
178. 加工研磨硅片载体的专用模具 
179. 研磨硅片载体坯调整装置 
180. 太阳能电池硅片清洗机的回流槽 
181. 用于刻蚀硅片的辅助工装 
182. 硅片载片盒辅助工装 
183. 全自动太阳能硅片制绒清洗设备 
184. 硅片线切割装置 
185. 一种硅片花篮 
186. 硅片承载框 
187. 夹取硅片的石英舟 
188. 硅片干燥用的气液混合恒温系统 
189. 硅片干燥设备 
190. 硅片定位装置 
191. 一种硅片甩干机 
192. 硅片脱水干燥机构 
193. 带有缓冲装置的硅片清洗篮安插底槽 
194. 一种观察硅片表面的运动支撑机构 
195. 硅片载体使用的挂具 
196. 一种取送硅片的机械手 
197. 用于磷浆扩散的太阳电池硅片 
198. 晶体硅片的双面连续串联焊接系统 
199. 硅片废料制粉装置 
200. 一种自动控制的硅片检查系统 
201. 硅片载片装置 
202. 硅片清洗脱胶夹具 
203. 一种用于硅片存储和运输的包装容器 
204. 一种英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮 
205. 一种具有俯仰功能的硅片盒平台 
206. 线切割机硅片收集槽 
207. 扩散系统硅片装载装置 
208. 一种半导体功率器件用衬底硅片 
209. 硅片自动装片机 
210. 半导体硅片清洗装置 
211. mm立式氧化炉硅片传送机械手系统 
212. 多线锯切割后硅片脱胶保护装置 
213. 一种新型硅片切割机用切割线的收放线结构 
214. 一种硅片切割机 
215. 一种硅片切割液的冷却装置 
216. 一种光刻机硅片台双台交换装置 
217. 一种光刻机硅片台双台交换装置 
218. 硅片单片清洗工艺腔体结构 
219. 一种改进型的硅片甩干机密封结

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